MEMS 【Micro-Electro-Mechanical Systems】 マイクロマシン / micromachine

概要

MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）とは、マイクロメートル単位の微小な機械部品やセンサー、電子回路などを組み合わせた複合的な電子部品。特に、半導体製造技術を応用し、電子基板上に機械的な仕組みと制御用の集積回路を一体的に形成したものを指すことが多い。

アクチュエータのような可動部を有する機械部品から、光学デバイス、物理・化学的な原理を応用したセンサーなどを配線や制御回路などと共に微細加工技術により基板の上に作り込んで製造する。個々の要素を製造して組み合わせるより小型化や省電力化が可能で、単一の製造工程で生産されるため安価に大量生産することができる。

応用製品としてはプロジェクタの光学素子の一種であるDMD（Digital Micromirror Device）や、インクジェットプリンタのヘッド部にある微小ノズル、圧力センサー、加速度センサー、流量センサー、ジャイロスコープなどの各種センサー部品、ハードディスクドライブの磁気ヘッド、光スイッチ、DNAチップ、電子ペーパーの一部の方式などがある。

(2018.12.24更新)

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この記事の著者 ： (株)インセプト IT用語辞典 e-Words 編集部
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