読み方 ： メムス

MEMS【Micro-Electro-Mechanical Systems】マイクロマシン/micromachine

概要

MEMSとは、マイクロメートル単位の微小な機械部品やセンサー、電子回路などを組み合わせた複合的な電子部品。特に、半導体製造技術を応用し、電子基板上に機械的な仕組みと制御用の集積回路を一体的に形成したものを指す。
MEMSのイメージ画像

アクチュエータのような可動部を有する機械部品から、光学デバイス、物理・化学的な原理を応用したセンサーなどを、金属配線や制御回路などと共にシリコン基板の上に一体的に製造する。製造には微細加工技術や、フォトリソグラフィやエッチングといった半導体製造技術を利用する。

従来の電子回路が信号の処理のみを行うのに対し、MEMSは外部の物理的な振動、圧力、加速度、光といった情報を電気信号に変換したり、逆に電気信号によって微細なミラーやレバーを物理的に動かしたりすることができる。個々の要素を製造して組み合わせるより小型化や省電力化が可能で、単一の製造工程で生産されるため安価に大量生産することができる。

応用製品としては、プロジェクタの光学素子の一種である「DMD」（Digital Micromirror Device）や、インクジェットプリンタのヘッド部にある微小ノズル、圧力センサー、加速度センサー、流量センサー、ジャイロスコープ、マイクなどの各種センサー部品、ハードディスクドライブの磁気ヘッド、光スイッチ、DNAチップ、電子ペーパーの一部の方式などがある。

この記事の著者 ： (株)インセプト IT用語辞典 e-Words 編集部
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