MEMS

【Micro-Electro-Mechanical Systems】

読み ：

微小電気機械素子およびその創製技術のこと。米国では一般的にMEMSと呼ばれるが、日本で「マイクロマシン」(micromachine)、ヨーロッパで「MST」(Microsystem Technology)と呼ばれるものもほぼ同義。米国においては半導体製造技術の応用により、日本やヨーロッパにおいては多くがメカトロニクス技術(機械装置に電子工学を融合した技術)の微小化の進展により、技術開発が進められている。

技術応用例としては、プロジェクタの光学素子の一種DMD(Digital Micromirror Device)や、インクジェットプリンタのヘッド部にある微小ノズル、圧力センサー、加速度センサー、流量センサーなどの各種のセンサーなどがある。今後は製造業はもとより、医療分野などでも応用が期待されている。日本でのMEMSに対する取り組みは、新技術開発事業団(現・科学技術振興機構)の「創造科学推進プロジェクト」のひとつとして実施された「吉田ナノ機構プロジェクト」(1985〜1990)が有名。

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• 朝日新聞社「知恵蔵2009」